江奕辰继续道,“我已经和华威沟通过了,准备成立合资公司,专门造光刻机。兼营镜头、非接触式曝光系统。”
钟国栋有些喜色,“我们自己造光刻机,这倒是好事,不过这投资怕是很大。”
“华威出500个亿,我们出450亿,此外我们还有相关技术入股,占股51%。”
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“450个亿,我们辰芯微也拿不出来。”钟国栋有些无奈。
“奕辰投资和星辰公司出,辰芯微出技术和研究人员就行。”江奕辰摆手。
这三个公司都是他控股的,问题并不大。
倒是他不知道华威居然这么有魄力,直接拿出500个亿。
看了一会数据,江奕辰又让工程师们试运行了一会,很快找到了问题症结和解决办法。
“可以试试调整输出功率至一个较低的但更稳定的区间,同时微调频率,以减少因频率波动引起的曝光不均。此外,优化脉冲宽度,它直接影响到光刻图案的清晰度。”
张成在一旁插话道:“但是,降低输出功率可能会影响光刻效率,我们得确保调整后的参数能在保证质量的同时,尽量不牺牲生产效率。”
江奕辰点头,“可以先进行一次小范围的试验,记录下调整前后的生产效率和质量变化,用数据说话。”
黄小婷提议:“那我们先设定几个参数组合进行试验,每个组合运行一段时间,收集足够的数据来进行分析。”
“可以。”江奕辰说,“同时,引进光学模拟软件,对不同的参数组合进行预模拟,这样可以提前预测效果,减少实际试验的次数和成本。”
孔连华立刻行动起来,联系技术团队准备进行试验。
几个小时后,选定了三个最有可能成功的参数组合进行实际测试。
紧接下来几天,团队轮流值守,密切监控光刻机的运行状态,记录每一片芯片的生产数据。
经过多轮测试,最终确定了一组既能保证光源稳定性,又能维持较高生产效率的参数设置。
孔连华高兴极了,激动地汇报,“江董,光源输出功率的波动降低了30%,频率稳定性提高了25%,而生产效率仅下降了5%,问题初步得到了解决。”
“看样子,我们的调整方向是正确的。”江奕辰满意地点头,“但这只是一个暂时的解决方案。”
……