后续要测试的东西,多着呢!
比如,光刻机的长时间运行稳定性、光源系统的寿命测试、以及在不同工艺条件下的适应性等,都是接下来需要重点关注的测试项目。
毕竟,一次成功,并不能代表光刻机在所有情况下都能表现出色,只有经过全面而严格的测试,才能确保光刻机的性能稳定可靠。
“孔连华,你组织一下,制定一个详细的测试计划,我们要对光刻机的各项性能进行全面评估。”
江奕辰对孔连华说道。
孔连华点头应允。
接下来几天里,工程师们轮流值守,对光刻机进行了不间断的测试。
他们仔细观察光刻机的运行状态,记录下每一个数据,对光刻机的性能进行了全面而深入的评估。
在连续72小时的高强度运行测试中,光刻机保持了光源稳定性。
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极紫外光源的功率波动率控制在0.05%以内。
透镜系统的表现同样令人振奋,其透过率和均匀性均达到了设计指标,且在长时间运行后并没有出现明显衰退。
江奕辰设计的散热系统,运行得相当出色。
江奕辰意气风发,“小婷,给我下单,辰芯微要12台!”
“可,我们还没有定价呢?”黄小婷愣了下。
“定价,你觉得多少合适?”
“就目前的样机来说,至少要1.5亿元的成本。”黄小婷道,“当然,具体多少,要详细测算。”
江奕辰笑了,“这和国外的比起来,那也便宜太多了啊!”
“这倒是。”
黄小婷恍然。
钟国栋道,“把生产线建好,不说别的,同时造两台光刻机是要的。”
一台光刻机,制造完成至少需要三四个月的时间,这还包括各种精密部件的采购、组装、调试以及最终的性能验证。
考虑到‘华辰EUV光刻机’是华辰微电子自主研发的首台设备,其生产周期可能会更长。
尤其是在初期,需要对每一道工序都进行严格的质量控制和技术优化。
“至于定价,给辰芯微和华威的,成本价加上适当利润价。至于以后卖出去,一台至少12亿。”江奕辰嘴角扬了起来。
黄小婷有些财迷起来,“话说,什么时候发奖金?另外,宣传呢,要不要?”
……